Parameters Performance Indicators Units EII ME Bias ¡Ü¡À5 ¡Ü¡À5 mg Scale Factor 1.0¡À0.2 1.0¡À0.2 mA/g Second-order Nonlinearity ¡Ü¡À15 ¡Ü¡À30 ¦Ìg/g2 Bias Temp Coefficient ¡Ü¡À40 ¡Ü¡À60 ¦Ìg/¡æ Scale Factor Temp Coefficient ¡Ü¡À80 ¡Ü¡À120 ppm/¡æ Bias Repeatability ¡Ü50 (for 1 month) ¡Ü100 (for 1week) ¦Ìg Scale Factor Repeatability ¡Ü50(for 1 month) ¡Ü100(for 1 week) ppm Second-order Nonlinearity Repeatability ¡Ü20(for 1 month) ¡Ü30(for 1 week ) ¦Ìg/g2 Natural Frequency ¡Ü800 ¡Ü800 Hz Acceleration Range ¡Ý¡À20 ¡Ý¡À20 g Vibration 5g(20~2000Hz) 5g(20~2000Hz) g, Hz Shock 120g,4.5ms,1/2sin 120g,4.5ms,1/2sin g, ms Operating Temp -45~+125 -45~+125 ¡æ Resolution ¡Ü5¡Á10-5 ¡Ü5¡Á10-5 g Weight ¡Ü30 ¡Ü30 g